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產品簡介
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半導體制造車間在線式氣溶膠粒子計數器是一種的技術設備，基于激光散射原理的多通道粒子計數傳感器，可準確測量包含0.3μm,、0.5μm、1μm、3μm、5μm、10μm行業通用的6種粒徑。主要用于實時監控和記錄空氣中微粒的數量、大小以及分布情況。廣泛應用于各種需要嚴格控制空氣質量的環境中，如半導體制造廠、制藥車間、醫院手術室等對潔凈度要求極&高的場所。通過使用高精度傳感器來捕捉空氣中的微小顆粒物信息，并將其轉換為電信號發送給數據處理單元進行分析處理，最終以圖表或數字形式展示給用戶界面上。
半導體制造車間在線式氣溶膠粒子計數器特點
數據準確：單顆粒激光散射原理，工業級激光光源。計數效率高，重復性和 一致性好。
粒徑范圍：粒徑范圍 0.3~10μm，保證計數效率同時，單臺傳感器覆蓋六通道。
可靠性高：空氣動力學修正, 光路和氣路自檢，對震動不敏感，保證系統可靠性與穩定性。
流量穩定：采用主動采樣方式，采用恒流進氣風扇，選配 PID 流量控制功能，
可支持穩定、長時間、高負壓、采樣；可選氣泵版，外置高性能氣泵模塊。
響應快速：秒級數據更新。
全自動測量：可遠程控制，無線傳輸，數據實時上傳至物聯網平臺。
電路安全：具有 ESD、過壓、過流、反接保護，確保電路的穩定性及可靠性。
安裝便捷：安裝結構簡單，通用性高。
安全友好：低壓供電，無電擊；無放射源，無光污染。
軟件有完整的事件記錄，包括傳感器的工作狀態、登錄用戶的所有操作和報警事件等。
系統設有現場聲光報警（具有現場消音功能），可支持短信報警功能，用戶可任意設定超限報警級別、預報警級別。
配置多色報警器，可在生產現場提供聲音或可視的報警信號，因此，報警燈應放置在顯眼的位置， 并可將警報可以轉換成多色信號燈顯示，還可以選配短信報警器。
技術指標
氣溶膠粒子計數在線監測系統 | |||
類別 | 序號 | 產品名稱 | 參數規格 |
主機 | 1 | 數據采集儀 | l 性能參數：NXP i.MX6UL處理器，Cortex®-A7內核，主頻528MHz，內置linux操作系統； l 多通道數據采集接口，3路232和3路485接口，支持MODBUS協議，超標報警推送、超標告警查詢、全天候24實時在線監測，可集成多種傳感器探頭； l 支持遠程登錄、自動重啟遠程升級、遠程更新設備軟件； l 控制功能：能通過上位機控制檢測儀表設置數據采集頻率、系數校準、時間同步、報警參數設置等功能； l 支持插入U盤自動升級軟件程序功能； l 具備以太網接口，直接通過局域網或internet與上位機通訊； l 具備數據超標聯動報警功能，可聯動報警燈、攝像頭抓拍等； l 數據存儲：內置大容量SD卡，可存儲一年以上的原始監測數據，并可通過有線或者無線方式顯示到LED屏幕上或者云平臺軟件； l 設備數據傳輸符合國家通信標準HJ212-2017傳輸協議； l 具備GPS定位功能，實時定位設備所處地理位置； l 斷網續傳功能：在設備離線的情況下，正常監測數據，設備恢復網絡后遠程補傳； l 可擴展性：可擴展添加噪聲，顆粒物，含氧量檢測指標等參數。 |
監測參數 | 2 | 粒子計數傳感器 | |
l 測量輸出：0.3~10μm 共 6 通道粒子數 l 量程：4,000,000 個 /ft3 l 計數效率：0.3μm/50% >0.45μm/100%（@25℃,50%RH） l 相對誤差：±15%（@25℃,50%RH） l 工作溫度范圍：-20-60℃ l 溫度范圍：0-99%RH l 工作大氣壓力：86KPa~110KPa | |||
3 | 風速傳感器（選配） | ||
l 測量范圍：0-1m/s ；1-20 m/s l 測量精度：±0.1 m/s l 工作范圍：溫度：0-50℃，濕度：＜85%RH l 響應時間：＜3秒 | |||
4 | 壓力傳感器（選配） | ||
l 測量范圍：默認-120Pa~120Pa l 壓差精度:±(3%讀數±0.08Pa)@25℃ l 壓差分辨率：0.1Pa l 長期穩定性:≤0.05Pa/y l 響應時間:1S | |||
5 | 溫濕度傳感器（選配） | ||
l 測量范圍：溫度：-40-120℃濕度：0-100%RH l 測量精度：溫度：±0.5℃濕度：±3%RH l 分辨率：溫度：0.1℃；濕度：0.1%RH | |||
監控 云平臺 | 6 | 云平臺功能 | l 查詢：此功能主要用于多臺設備進行數據對比查詢； l 歷史查詢：歷史查詢主要用于查詢設備某天或某小時的數據曲線查詢及報表下載； l 曲線分析：曲線分析是用于分析一個時間段內的要素變化，可以在曲線上進行拖動； l 站點管理：這個功能是用于添加或更改站點 l 電子地圖：在線狀態，故障狀態 l 實時數據：實時數據查詢，小時平均值，日平均值數據統計，最大值最小值統計 |
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